MEMS will be one of the most important realm of science in 21th century,and micropower which is a branch of MEMS directly relates to development of MEMS in some applied realm.
微机电系统(MEMS)将是21世纪最
要
研究领域之
,而微能源器件是MEMS其中
要分支,其发展直接
系到MEMS在某些领域中
。
wēi jī diàn
MEMS(micro electro mechanical system)
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